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    納米操作機

    簡要描述:納米操作機是一種可以在微納米尺度下與樣品或操作對象進行物理交互(如測量、移載、搬運等),并且可以在各種顯微鏡(光學顯微鏡、SEM、FIB)內進行各種物理量測量(如電學、力學、光學等)的精密儀器。

    • 產品型號:
    • 廠商性質:生產廠家
    • 更新時間:2022-11-12
    • 訪  問  量:4668

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    納米操作機是一種可以在微納米尺度下與樣品或操作對象進行物理交互(如測量、移載、搬運等),并且可以在各種顯微鏡(光學顯微鏡、SEM、FIB)內進行各種物理量測量(如電學、力學、光學等)的精密儀器。該系統全部由Nators公司自主開發的模塊化部件組成,可根據用戶需求提供定制化解決方案。

    產品特性:

    • 閉環運動控制,具有數十毫米運動行程和納米級運動分辨率

    • 低漂移,高重復定位精度

    • 結構緊湊、體積小,適配市面上大部分顯微鏡平臺

    • 模塊化設計,可根據用戶需求提供定制化服務

    納米操作機產品應用:

    • 微納操作與微裝配

    • 半導體納米芯片電學探測

    • 材料納米力學測量(納米壓痕、彎曲、拉伸測試)

    • 光電材料等原位光誘導或原位性能測量

    • MEMS器件測試

    規格參數:

    概述 技術參數
    納米操作手數量 多達8個+樣品臺
    每個操作手自由度 XYZ三軸
    操作手運動行程(XYZ) 20 mm
    開環運動分辨率 1 nm
    閉環運動分辨率 5 nm
    選配模塊 力傳感器、旋轉定位臺
     

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